burkert寶德8713型氣體質量流量控制器20001625核心工作原理和結構突破

8713型氣體質量流量控制器*200SCCM,N?,鋁基座,G1/4寸,RS485

控制器| N2 | 20000sccm | 24v DC |內螺紋- G1/4" | RS485, RS422

輸入/輸出

輸入類型數字量

1四氯乙烯

輸出類型數字量

1

二進制輸入1

默認的

二進制輸出1

默認的

核心工作原理

熱式測量原理

毛細管結構：氣體流經加熱的毛細管，散熱速度與流速相關。

溫度反饋：上下游溫度傳感器檢測溫差，通過惠斯通電橋轉換為電信號。

流量計算：根據熱傳導公式（King定律）計算質量流量。

控制閉環

PID算法：根據設定流量與測量值的偏差，調整控制閥開度。

動態響應：實時調整確保流量穩定性。

結構突破與創新

傳感器微型化

MEMS技術：集成微加工傳感器，提高響應速度（<5ms）。

低功耗：微型傳感器降低功耗（<1W）。

控制閥優化

壓電閥：無磁滯、長壽命（>10?次循環），適合小流量。

直通式設計：減少壓降，提高大流量效率。

多氣體兼容性

軟件校準：通過算法補償不同氣體熱導率差異。

模塊化設計：更換傳感器模塊支持腐蝕性氣體。

數字通信集成

物聯網協議：內置Modbus、EtherNet/IP接口，支持遠程監控。

智能診斷：預測性維護功能（如傳感器壽命預警）。

耐腐蝕材料

陶瓷傳感器：耐受腐蝕性氣體（如Cl?、NH?）。

PEEK閥體：避免金屬污染，適用于超純工藝。

未來趨勢

智能化：AI算法優化控制策略。

集成化：將MFC與壓力控制器、過濾器集成。

burkert寶德8713型氣體質量流量控制器20001625核心工作原理和結構突破